単結晶および多結晶シリコン産業におけるグラファイト製品の応用

1.グラファイト制品の绍介

グラファイト製品は、その特殊な構造により、高温耐性、耐熱性、電気伝導率、潤滑性、化学的安定性、可塑性などの多くの特性を備えています。 グラファイトリングやグラファイトボートなどのグラファイト製品には、幅広い用途があります。 国際的な専門家はかつて、「20世紀はシリコンの世紀であり、21世紀は炭素の世紀になる」と予測していました。

2.単結晶および多結晶シリコン業界におけるグラファイト製品の応用を理解する

半導体の開発は、半導体産業におけるグラファイト材料の応用と切り離せません。 半導体業界では、単結晶炉の加熱システムに多数の高純度グラファイト材料が使用されています。 半導体ウェーハ処理 (ゾーンメルト、エピタキシー、輪郭処理などを含む) では、グラファイト材料は補助工具および部品であり、ポリシリコン材料の製造に使用される半導体シリコンウェーハは、補助工具および部品として使用されます。 电子工学で使用されるグラファイト制品のような大きいグラファイトのブロック、最初に半導体業界に適用する必要があります。 21世紀に入ると、太陽光発電産業は急速に発展し、太陽電池に使用される多結晶シリコンインゴット材料の生産と市場は急速な成長を遂げました。

Czochralski単結晶炉で使用されるグラファイト製品の部品は、アイソスタティックグラファイトブロックさまざまな高純度のgraphitesから処理される消耗品の部品です。 グラファイトるつぼなどのグラファイト部品は、高純度の微細構造グラファイトを使用します。グラファイトヒーターは、高純度の等方性グラファイトを使用します。グラファイト絶縁カバーとグラファイトカバーは、高純度のグラファイト粒子構造を使用しています。 多結晶シリコンインゴットユニットの製造には、グラファイト材料を必要とするいくつかのコンポーネントがあります。 特に、インゴット炉ヒーターに使用される加熱材-高純度グラファイト、断熱材-高純度カーボンフェルト断熱材、ポリシリコンインゴット装置に不可欠で重要な支持材料です。

インゴット炉ヒーター (1600 ℃ 以上) の加熱温度が高いため、加熱材料はシリコン材料と反応できず、シリコン材料を汚染しません。そして真空および不活性ガスで使用されなければなりません。 長い時間。 ヒーターは、金属タングステン、モリブデン、非金属グラファイトなどの使用条件に基づいています。 しかし、タングステンおよびモリブデンは高価であり、加工が困難であり、グラファイトは様々な形状のグラファイト製品に加工することができる。 さらに、グラファイトには、小さな熱慣性、速い加熱、高温抵抗、熱衝撃抵抗、大きな放射面積、高い加熱効率、および安定した性能の特性もあります。 このため、グラファイト材料は、インゴット炉ヒーターにおける好ましい加熱材料となっている。